AXCELIS TECHS

Über AXCELIS TECHNOLOGIES, INC.

Axcelis Technologies, Inc. Bietet hochproduktive Lösungen für die Halbleiterindustrie. Das Unternehmen konzentriert sich auf die Entwicklung unterstützender Prozessanwendungen durch Design, Herstellung und vollständige Lebenszyklusunterstützung von Ionenimplantationssystemen, einem der entscheidenden und grundlegenden Schritte im IC-Fertigungsprozess. Zu den Produkten der Ionenimplantation gehören Hochstrom-Ionenimplantate, Hochenergie-Ionenimplantate und Mittelstrom-Ionenimplantate. Die Hochstromanlagen Purion H, Purion Dragon, Purion H200 und GSD/E2 Ovation decken alle herkömmlichen Hochstromanforderungen sowie diejenigen, die mit neuen und zukünftigen Geräten verbunden sind. Die Purion XE, EXE und andere Purion Hochenergiesysteme kombinieren ihre produktionsbewährte HF Linac Hochenergie-, Punktstrahltechnologie mit dem Purion Plattformwafer-Handling-System. Zu den Produkten der Ionenimplantate mit mittlerem Strom gehören die Systeme Purion M Si und SiC mit mittlerem Strom. Außerdem bietet es seinen Kunden Service und Support für den Aftermarket.