NOVA LTD

Über NOVA LTD

Nova Ltd, ehemals Nova Measuring Instruments Ltd, ist ein in Israel ansässiges Unternehmen, das Messlösungen für die Halbleiterfertigungsindustrie anbietet. Das Unternehmen bietet eigenständige optische Inline-Messsysteme und Röntgenmesssysteme sowie integrierte optische Messsysteme an, die direkt an die Ausrüstung des Waferherstellungsprozesses angeschlossen werden. Seine Messsysteme messen verschiedene Filmdicken- und Zusammensetzungseigenschaften sowie Variablen der kritischen Dimension (CD) während verschiedener Front-End- und Back-End-of-Line-Schritte im Halbleiterwafer-Fertigungsprozess. Das Produktportfolio umfasst eine Reihe von integrierten und eigenständigen In-situ-Metrologieplattformen, die für Dimensions-, Film- und Materialmetrologiemessungen zur Prozesskontrolle über mehrere Prozessschritte der Halbleiterherstellung geeignet sind. Zu seinen Produkten gehören unter anderem NovaScan 2040, NovaScan 3090Next, Nova i500, Nova T500, Nova T600, Nova V2600 TSV Metrologiesystem.